氢钝化对晶体硅太阳能电池缺陷调控的物理机制与先进工艺 摘要 氢钝化是晶体硅太阳能电池提升转换效率的核心工艺之一。系统综述了硅中氢的电荷态行为、扩散物理机制及其在缺陷钝化中的作用,涵盖了从基础物性到先进工艺的完整链条。重点分析了氢的三种电荷态(H⁺、H⁰、H⁻)的扩散活化能与迁移率差异,阐述了化学钝化