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光伏技术 #TOPCon#硼扩散#PN结#BCl3#BBr3#死层

TOPCon 电池 PN 结的硼扩散制备工艺与化学反应机制

TOPCon 电池 PN 结的硼扩散制备工艺与化学反应机制 TOPCon 电池的 PN 结通过向 n 型硅片正面扩散硼元素形成。产业中以气态 BCl₃ 和液态 BBr₃ 为主要硼源，在 850 ~ 1050°C 的石英管式扩散炉中经预沉积和推进两步完成。本文从化学反应路径出发，对比两种硼源和磷源（P

Administrator Administrator 发布于 2026-07-27