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光伏技术 #TOPCon#硼扩散#方阻#Arrhenius#扩散系数

TOPCon 硼扩散温度与方阻的定量关系

TOPCon 硼扩散温度与方阻的定量关系 硼扩散是 TOPCon 电池形成 PN 结的核心工艺，扩散温度通过 Arrhenius 关系决定硼原子的扩散系数，进而影响掺杂浓度分布、结深和方块电阻。本文从菲克扩散定律出发，推导方阻与扩散温度、时间的定量关系，给出硼在硅中的扩散激活能等关键参数。 1 理论

Administrator Administrator 发布于 2026-07-27