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半导体技术 #椭偏仪#薄膜测量#光学常数#折射率#椭圆偏振

椭圆偏振光谱仪测量薄膜厚度与光学常数的原理与方法

椭圆偏振光谱仪测量薄膜厚度与光学常数的原理与方法 椭圆偏振光谱仪（Spectroscopic Ellipsometry, SE）通过测量偏振光在薄膜表面反射后偏振态的变化，采用模型拟合逆向求解薄膜的厚度 d、折射率 n 和消光系数 k。作为一种非接触、非破坏性、亚纳米级精度的光学测量技术，椭偏仪广泛

Administrator Administrator 发布于 2026-07-27