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TOPCon 硼扩散温度与方阻的定量关系
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TOPCon 硼扩散温度与方阻的定量关系

TOPCon 硼扩散温度与方阻的定量关系 硼扩散是 TOPCon 电池形成 PN 结的核心工艺，扩散温度通过 Arrhenius 关系决定硼原子的扩散系数，进而影响掺杂浓度分布、结深和方块电阻。本文面向光伏扩散工艺工程师和工艺整合工程师，从菲克扩散定律出发，推导方阻与扩散温度、时间的定量关系，给出硼

Administrator Administrator 发布于 2026-08-02